過去幾年,半導體產業(yè)風起云涌。中國半導體市場規(guī)模占全球比重持續(xù)提高。隨著5G、消費電子、汽車電子等下游產業(yè)的進一步興起,疊加全球半導體產業(yè)向大陸轉移,中國將持續(xù)成為全球更大和貿易更活躍的半導體市場。眾所周知,半導體產業(yè)與面板產業(yè)相似,都是重資產投入,設備投資占總投資規(guī)模的比例達到60%以上,其中一些關鍵的制程環(huán)節(jié)需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術,具有技術含量高、制造難度大、設備價值高等特點。此外,半導體產業(yè)發(fā)展現在還遇到一些新的問題,需要新的突破,比如環(huán)保問題。
半導體要在全年四季的不同氣候條件下生產,生產車間內部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對于生產環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度等多個參數都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于半導體產品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質的影響,其對濕度的精度提出了更嚴格要求。工業(yè)蒸汽鍋爐作為其生產線的重要熱源設備,能否穩(wěn)定高效運行對其工序品質造成直接影響。